株式会社アールデック

kSA 400 RHEED解析システム
The Leader in Analytical RHEED and LEED
MBE・PLD・結晶薄膜装置に取り付け可能



第4世代となる本機は、RHEED回折像から結晶格子間隔、ひずみ変化・薄膜成長レート・膜厚・コヒーレンス長などの 他に、結晶薄膜表面の評価 / 分析に必要な情報を引き出せるようになりました。
取得した回折画像や映像分析はもちろん高速基板回転中の取得データのIn-situ分析においても、すばやく完全な結果が得られます。
用途により12ビットCCDカメラ(88フレーム/秒)と14ビットCCDカメラ
(112フレーム/秒)の2種類から選択いただけます。


特長
k700-12
12bit 88fps カメラ
k1000-14
14bit 112fps カメラ
◆ 最新CCDカメラ88fps/112fps
◆ フル入出力及びトリガー機能
◆ PLD装置対応、スパッタ装置対応
◆ リアルタイム成長率分析
◆ ソフトウェア改良の継続
◆ PLE、LEED I/V、Auger/XPSなどのオプション
◆ OEM RHEED電子銃コントロールオプション
  (R-DEC製またはStaib製)


構成
デジタルCCDカメラ・フランジマウント・ソフトウェアコンピュータにより構成されています。
ハードウェア機能
◆ プログレッシブスキャン、インターライントランスファー、112フレーム/秒、ソフトウェアによる露光時間制御が
  可能な14ビットデジタルCCDカメラ(88フレーム/秒の12ビットデジタルCCDカメラも選択可)
◆ 解像度プログラムが可能な40 MHzデジタルフレームグラバー、
◆ 輝度変動率を損なわずにズームインとズームアウトが可能
◆ 多様な真空チャンバーとレール付フランジマウントアッセンブリー(ICF114、ICF152、ICF203)、
◆ イメージャとレンズの保護、光漏れのない環境を提供(Veeco GEN II又はRIBER用特殊フランジマウントアッセンブリーも用意)
◆ 基板回転等の外部イベントから正確にトリガーをかけるための非同期リセットを含む外部トリガーが可能
◆ DellTMからの最新高性能デスクトップコンピュータ&19インチTFTディスプレー

ソフトウェア機能
◆画像取得のタイプはシングル画像、マルチ画像、デジタルムービー録画と様々
 "スキャンモードイメージ”はユーザーが任意に引いたラインをスキャンし回折パターンの経時変化を表示。
 同時にデジタルムービー機能にて全体の回折変化の取得も可能
◆ リアルタイム測定と成長率、格子間隔、コヒーレンス長、ひずみ、測定モードの切り換えを含む多数のRHEED
  パラメーターのビジュアル化が可能。すべての計算は使用して証明されたRHEED特定分析ルーチンに基づく
◆ 成長率は高速フーリエ変換、微分解析、減衰波長の3通り
◆ 取得した画像はwindowsメタファイル(.bmp, .tif等)で出力
◆ 高解像度2D及び3Dグラフィック表示及び及び回転、カラー変換パレット
◆ アナログ/デジタル I/O(入力/出力)

オプション
◆ Phase-Locked Epitaxy (PLE)        
◆ LEED I/V
◆ RHEED Gun Control
◆ Auger/XPS Spectroscopy
◆ Rotation Monitoring and Triggering (RMAT)
◆ Multiple Data Sets

Standard
Flange Mount
Soft Cover
Flange Mount
New! Right Angle
Flange Mount
Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.