株式会社アールデック


半導体・電子部品・液晶・プラスチック成形などの製造プロセスでは、静電気による
トラブルが大きな問題となっています。
ダイナックFD-D120Dは新開発の薄膜状の素子(マイクロプラズマイオン化素子)に
よってイオンを発生させ、除電を行いたい対象物に照射することで、表面の静電気を中和・除去します。





電極部拡大写真

プラズマ発生時の様子

誘電体とその表面に形成した微細電極によって構成されており、多数のプラズマ発生ポイントを
高密度に有することから高濃度のイオンを素子全体にわたって効率よく発生させることができます。




従来の静電気除去器は針先からの放電=いわゆる点放電ですが、
(独)産業技術総合研究所と共同開発したフラット電極は、面放電の
ため低電圧で高密度のイオンを発生させることが可能です。




フラット電極は低電圧でイオンを発生させているため、針形状の電極に
比べて静電吸着による汚れの付着が極端に少なくなります。この為、
従来必要とされたクリーニングがほとんど必要なく、約1/40に
ランニングコストの低減が可能となります






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