株式会社アールデック

高真空蒸着装置L-045E


シンプルで多彩な蒸着・実験用にカスタマイズ可能

ターボ分子ポンプ排気系を標準装備した高真空排気システムに、E型電子銃や
抵抗加熱蒸着源を搭載したR&Bに最適な高真空蒸着装置です。
標準部分の排気システムは、研究実験用の排気装置として幅広い用途に
使用できます。







・ハッチ式前面扉を採用
 基板交換、試料交換が容易
・ターボ分子ポンプ排気系
 ターボ分子ポンプがクリーンな真空を提供。
 ドライポンプ(粗引)との組合せで排気系のドライ化が可能
 (オプション)
・高信頼性・保守部品の入手が容易
・安全設計

 漏電・漏水・過電流に対して安全設計
・豊富なオプション
 各種電子銃、抵抗加熱などの蒸発源、膜厚モニタや蒸着制御器
 残留ガス分析計の組み合わせで幅広い仕様に対応


・研究用小型蒸着装置
 (電極膜・レンズコーティング・電子顕微鏡のレプリカ製作など)
・ 真空保管庫
・真空中での熱処理、その他の実験
・薄膜物性、表面分析、ガス分析などの研究








項目 内容
到達圧力 7×10-5Pa 以下
排気ポンプ 330L/s ターボ分子ポンプ
250L/m ロータリーポンプ
チャンバ (mm) 400W × 400D × 780H (93L)
架台 (mm) 1100W ×700D × 1800H
用力 電気 φ3 200V 30A (M5圧着端子)
2L/min (チャンバ冷却用) (Rc3/8継ぎ手)
ガス N2 : 0.05Mpa (ベント用)
Air : 0.3Mpa (水追い出し用) (Rc 1/4継ぎ手)
排気ポート NW25フランジ (RP排気口)


■寸法図■




Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.