株式会社アールデック

コンパクト型ガス分析システムDシリーズ
M-101/201/400GA-Dシリーズ



差動排気を使用した簡易型ガス分析システム

四重極型質量分析計の応用技術製品、真空装置残留ガス分析、無機ガス分析、昇温脱離分析(TDS等)、放出ガス分析、研究開発向けガス分析に最適なコンパクトで低価格なガス分析システムです。
システムはお客様のご用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組合せができるフレキシブルな構成となっております。
各種ガス分析、研究開発分野において幅広く使用可能です。










1.カスタマイズシステム
・用途に合わせて、四重極型質量分析計、ガス導入系、
 その他オプションを組み合わせシステムアップが可能
・分析計はM-101/QA-TDF、M-101/201QA-TDM、
 M-400QA-Mの5種類より選択可能
2.小型・省スペース
・小型架台に四重極型質量分析計、TMP排気系を搭載した
 コンパクトな構造
3.容易な操作性
・パソコン制御による容易な測定が可能
4.Windows対応ソフトウェア 「QUADVISION 2」
・アイコンをクリックするだけの簡単操作
・マルチシステム対応可能 (最大8CH)
・CoとN2の識別が可能 (PPMモード)
・データのCSV形式変換機能


・真空装置残留ガス分析
・熱天秤放出ガス分析
・昇温脱離ガス分析
・炉中分析
・密封ガス分析
・ランプ内ガス分析
・PDPガス分析
・燃料電池評価ガス分析



  M-101GA-DF M-101GA-DM M-201GA-DM M-400GA-DM
分析計 M-101QA-TDF M-101QA-TDM M-201QA-TDM M-400QA-M
測定質量数 1~100a.m.u. 1~200a.m.u. 1~410a.m.u.
検出感度 100PPM 10PPM
最小検知圧力 5×10-10Pa 以下 1.0×10-12Pa 以下 1.5×10-12Pa 以下
フィラメント イットリアコートイリジュウム (2本) (オプション:タングステン) 3% Re-W
イオン源 かご型 ガス導入型
検出器 ファラデーカップ型
(FC)
ファラデーカップ型(FC)
2次電子増倍管 (CEM)
到達圧力 2×10-6Pa 以下
導入可能ガス圧力 < 大気圧
< 大気圧
< 3Pa
ソフト機能 多重イオン検出モード、分圧測定モード、マスピークモード、リークテストモード
動作環境 詳細はお問い合せ下さい
用力 電源 AC100V 1.5kVA
N2ガス 20kPa (N2パージが必要な場合ご用意下さい)
接続フランジ ICF70 ICF114
■寸法図■

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