株式会社アールデック
 

コンパクト型ガス分析システムCシリーズ   M-070/101/201GA-Cシリーズ



四重極型質量分析計を仕様したコンパクトで自由度の高いガス分析システム

四重極型質量分析計の応用技術製品、真空装置残留ガス分析、無機ガス分析、昇温脱離分析(TDS等)、放出ガス分析、
研究開発向けガス分析に最適なコンパクトで低価格なガス分析システムです。
システムはお客様のご用途に合わせて、
四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組合せができるフレキシブルな構成となっております。
各種ガス分析、研究開発分野において幅広く使用可能です。









1.フレキシブルにカスタマイズが可能
基本構成(排気系+マスフィルタ)を選択、さらに各種ご用途を想定し、
あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、
お客様のご用途に最適なシステム構成とすることが可能です。
2.省スペース
W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能です。
3.簡単操作
シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、
安心してご使用いただけます。


研究開発用途ガス測定

  • 炉内ガス分析、モニタリング
    真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、
    電子ビーム式溶解炉(EB炉)、ウエハ引上炉 など
  • 昇温脱離ガス分析
  • 触媒反応ガス分析

プロセス装置用途ガス分析

  • 真空装置のプロセスガス測定
  • 真空装置の残留ガス測定/リーク検出

 




型名 M-070GA-CRFY M-101GA-CRFY M-101GA-CRMY M-201GA-CRMY
四重極分析計 M-070QA-TDF M-101QA-TDF M-101QA-TDM M-201QA-TDM
質量数範囲 m/z=1~70 m/z=1~100 m/z=1~200
検出感度 100PPM 10PPM
到達圧力 1×10-5Pa以下
ソフト機能 QUADVISION2 Win7
電源 AC100V 1.0KVA

基本構成品一覧

排気系
(2種類)
M-001GA-CR
(RP仕様)
M-001GA-CD
(ドライポンプ仕様)

四重極質量分析計
(7種類)
M-070QA-TDF M-101QA-TDF(Y) M-101QA-TDM(Y) M-201QA-TDF(Y)
M-101QA-TDF(W) M-101QA-TDM(W) M-201QA-TDF(W)
■寸法図■

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