株式会社アールデック

 

IC 6
IC6は、従来製品のIC/5とCygnusの機能を1つに統合した、最も精密で最先端の装置です。

特に、OLED製造のために重要な数々の機能を備えたIC6は、ModeLock測定システム(特許取得)を採用することにより現在入手可能で最も安定で、かつ最も高い分解能でレートと厚みを測定できるシステムを実現しました。


 
Guardian
Guardian同時蒸着コントローラーは、電子衝撃発光分光(EIES)を備えることによてCIGS膜製造過程における膜品質の再現性を著しく向上させました。 Guardianならば、0.1から10,000Å/sに至る蒸着速度を高精度にコントロールすることができます。



XTC/3 薄膜蒸着コントローラ
XTC/3は、XTC/2の後継機種とり2006年9月より販売を開始しました。XTC/3にはシングルレイヤー仕様、マルチレイヤー仕様の2機種があります。それぞれにModeLock(特許取得)を搭載しモードホッピングを防ぎ、高い蒸着精度を保証いたします。



SQC310
高度なエレクトロニクスとさらに改良されたディスプレイ、非常に手頃な価格と特徴を兼ね備えたインフィコンSQC310シリーズは、他社の競合製品では得られない機能をお客様に提供します。連続蒸着用SQC310または、同時蒸着用SQC310Cからお客様のアプリケーションに最適なモデルを選択することが出来ます。



SQM160
SQM-160は薄膜蒸着プロセスで、蒸着レートと膜厚を計測するために、インフィコンのクオーツクリスタルセンサーで証明されたテクノロジーを活用します。標準構成で2つのセンサーを入力ができ、オプション4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーの入力することを可能にします。標準の2 つのレコーダーアウトプットから、レートと膜厚のアナログ信号を出力します。



STM-2XM
STM-2XMは精度と柔軟なプログラミング、および容易な操作を組み合わせた低価格の2チャネルのレート/膜厚モニターです。



STM-2
STM-2は、水晶振動子を用いた膜厚モニターです。 お手持ちのPCに付属をソフトをインストールし、PCと膜厚測定センサーをSTM-2本体で結ぶだけで、セットアップは完了。PC上で積算膜厚、膜厚Rateのモニターが可能です。



センサー
インフィコンが提供するセンサー、フィードスルー、水晶振動子はいずれも品質と耐久性を兼ね備え、半田付けを使用せずに機械的に組立られていますから、部品を現場で必要に応じて簡単に交換する事ができます。



水晶振動子
インフィコンの水晶振動子は、金電極、銀電極そしてアルミ合金電極を新しくラインナップに加え、それぞれに5MHz、6MHzから選べます。水晶振動子は全てがクリーンルームで厳格な使用に基づいて製造されています。


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