株式会社アールデック
SQC310 シリーズ
Thin Film Deposition Controllers
連続蒸着、同時蒸着の精密コントロール

・RS-232(標準)およびUSB(オプションとしてイーサネット)
・プロセスの開発・試験・ダウンロードのほか、装置データをPCに記録してプロセスの解析や品質管理を行うWindows®プログラム。
・特に低い蒸着速度で威力を発揮する正確なプロセスコントロール(毎秒10回の読取りで±0.03Hzの分解能、0~50℃の範囲で周波数安定性±2ppm)
・100プロセス、1,000レイヤ、50フィルムまで記録できるストレージ容量。

QCMによる膜厚計測のリーダーがお届けする最も手頃な価格帯の
 高度マルチレイヤ コントローラ

高度なエレクトロニクスとさらに改良されたディスプレイ、非常に手頃な価格という特徴を兼ね備えた インフィコン SQC310 シリーズは他社の競合製品では得られない機能をお客様に提供します。連続蒸着用 SQC310 または、同時蒸着用の SQC310C からお客様のアプリケーションに最適なモデルを選択することが出来ます。
連続蒸着用のSQC310は、2点のセンサー入力、2点のソース出力、8点のデジタル入力/出力を備え、オプションとして提供される拡張カードを使用すれば、これらの入出力点数を2倍に増やすことができます。
同時蒸着用のSQC310Cコントローラは、4個までのクオーツクリスタスセンサをモニターする能力を持ち、4点のPIDコントロール出力、16点のデジタル入力、16点のリレー出力を備え、SQC310と同様の使用を満たしております。

 仕様
 
SQC310
SQC310C
 測定
QCM入力
2(4オプション)
4
周波数範囲
4~6MHz
周波数分解能
±0.03Hz(測定周期0.10秒)
周波数安定性
±2ppm total, 0-50℃
測定速度
1~10Hz
速度表示
0.01Å/sec
 コントロール
ストレージ容量
100プロセス、1000レイヤ、50フィルム
コントロール出力
2(4オプション)
4
出力信号
±0~10VDC、15ビット
デジタル入力/リレー
8(16オプション)
16
デジタル入力
5VDC、非絶縁
リレー
単極単投(SPST)、1A、30V(2A max)
インターフェイス
RS-232およびUSB(オプションとしてイーサネット)
リモート電力コントロール
オプション
 表示
型式
1/4" VGA、320×240、アクティブマトリックス カラーLCD
グラフ
速度、偏差、電力、または全画面数値表示
 一般事項
電力
100~240VAC、50/60Hz、25W
準拠規格
CE
Windows® ソフトウェア
標準添付
ハウジング/取付け
5 1/4" ハーフラック
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