株式会社アールデック

小型USB接続
膜厚・レートモニター






薄膜の蒸着レートと厚さ測定用の水晶振動子型膜厚・レートモニター(QCM)をお探しですか?
Q-podは小型で低価格、正確な測定が可能なモニターです。


▼ 最もシンプル(小型・軽量)で最も低価格な
  水晶振動子型膜厚・レートモニター(QCM)
▼ PCのUSBポートに直接接続可能(最大8個まで)
▼ オシレーター内蔵
▼ Windows上で動作(ソフトウェア付)し、データログ可
▼ ほとんどの市販センサーに接続可能



セットアップ&操作はこれ以上ないくらいに簡単に行えます。
Q-podのBNCコネクターをQCMセンサーのシグナル端子につなぎ、反対側は通常のUSBケーブルをPCへつなぎます。
それ以外のオシレーターや電源の接続は必要ありません。
附属のQ-podソフトウェアをPCにインストールすれば準備OKです。
このソフトウェアは、レート・膜厚・周波数・水晶の寿命・レートvs時間のグラフを最大8個のQ-podで同時に表示可能です。Q-podで測定されたデータはエクセル等に出力しやすいCSV フォーマットにて保存されます。




センサー ほとんどの市販センサーに接続可能
周波数範囲 1~10MHz
周波数分解能 0.05Hz at 6MHz
周波数精度 0.002%
周波数安定度 ±2ppm total, 0℃以上~50℃
入出力端子 BNC/USB
寸法・重量 25×50×65mm・52g
ソフトウェア 標準附属
必要システム WindowsXP又はWindows7(64bit未対応)インストール済PCプラスUSBポート1つ


ソフトウェア

標準附属のソフトウェア
メイン画面

最大8個のQ-podを同時に接続、モニターが可能です。
(その場合8個のUSBポートが必要になります)











QCMセンサー
UHV水晶式検出器 φ70 ICF



ベーキング温度 300℃ Max
冷却水量・水温 0.15~0.2 L/min・30℃ Max
リーク量 5×10-10Pa・m3/sec以下

標準品では300mm、500mm、700mm
その他の寸法にも製作いたします。(最大700mm、最小200mm)
相手側装置のパイプ内径はφ38mm以上必要です。



その他、デュアルセンサーやシャッタ付きセンサーなど様々なタイプの検出器を 取り扱っております。お問い合せください。
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