株式会社アールデック


膜厚・蒸着レートモニター
STM-2XM






STM-2XMは精度と柔軟なプログラミング、および容易な操作を組み合わせた
低価格の2チャネルのレート/膜厚モニターです。






STM-2XMはシンプルなプロセスから複雑なプロセスに対応する5つの操作モードを備えています。
たとえばシンプルなプロセスの場合、シンプルなモードを使用して1つだけのシングルセンサーを監視し、共蒸着の場合には
共蒸着モードを使用します。個別(独立)モードによって、STM-2XMは2つの完全に別のモニターとして機能します。
2つのセンター入力により、2つのシングルセンサーまたは1つのデュアルセンサーの使用が可能です。
1秒あたり10回測定され、測定あたり0.037Åの分解能を達成します。(density:密度が1の場合)。

機能について
STM-2XMは8つのデジタル入力、8つのデジタル出力及び4つのアナログ出力を備えています。
シャッター遅延、時間/電力モニター、レートサンプリングが設定可能です。これらの機能を使用することでより正確な測定ができ、
水晶振動子の寿命を延ばすことができます。
操作は前面パネルまたはLabVIEWベースのソフトウェアで行うことができます。





タイプ STM-2XM
センサー入力 2
測定周波数範囲 6.0 to 5.0 MHz
周波数分解能 ±0.03 MHz
膜厚・蒸着レートの分解能 ±0.037 Å
互換センサー シングル/デュアル
計測モード シンプル/バックアップ/平均/共蒸着/個別(独立)
多層膜機能 No
共蒸着機能
(書くセンサー向け個別の密度/Z-レシオ)
Yes
デジタル入力 8
デジタル出力 8
アナログ出力 4
通信インターフェース RS-232/RS-485
保存できる材料の数 15

    ※Tooling/density = 100/1、基本周波数=6MHz、測定間隔 0.10秒

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