株式会社アールデック

   




特長
・シャワーノズルの仕様でMarkⅣに比べて使用時間が約4倍になりました。
・固体ソースの安全性とガスソースの利便性があります。
・全世界に800台以上の納入実績が有ります。


対象材料
As






  500cc 2000cc
最大充填量 (密度の50%を基準) 1.4kg 5.7kg
最小フランジサイズ (標準)
          (水冷)
ICF70
ICF114
ICF114
ICF152
真空内長 最小267mm, 最大394mm 284mm
真空内径     (標準)
         (水冷)
36mm
56mm
61mm
92mm
材料充填口径 65mm 116mm
ルツボサイズ / 内寸法 径:φ65mm, 高さ:137mm 径:φ116mm, 高さ:181mm
操作温度    バルク部
        クラッキング部
350~450℃
600~1000℃
最大脱ガス温度 バルク部
        クラッキング部
650℃
1600℃
650℃
1400℃
水冷機構 蒸発部は標準、
クラッキング部のクーリングコイルかジャケットはオプション
バルブ動作 自動バルブポジショナー推奨、または手動マイクロメータ
バルブレスポンスタイム 全開から全閉まで3秒以下 (自動バルブポジショナー使用時)
電源 電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要

MBE セレクションガイド *バルブドクラッカーセルAs
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