株式会社アールデック

   




特長
・NH3はN成長用、CBr4はⅢ-V族化合物の
Cドーピング用です。


対象材料
NH3 CBr4










MBE装置 全ての研究用・生産用装置に使用可能
供給ガス NH3、CBr4、高蒸気圧有機ガス
最小取付フランジ ICF70
真空内長さ 318mmと517mm
真空内の直径 25.4mm
熱電対 Type K(クロメル/アルメル)
加熱方法 外部バンドヒーター
供給ガス接続口 標準:VCR4  オプション:ICF34
操作温度 30~200℃
最高脱ガス温度 200℃
電源 電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要

MBE セレクションガイド *NH3低温ガスソース
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