株式会社アールデック

   





特長
・ ルツボ先端部の温度を高めに設定する
ことでコンタミの原因となる凝縮物を防ぎ、
膜の欠陥を抑える事ができます。


対象材料
BaF2
CaF2
In
Mn
Cu
Ga
ZnS
Sc






 
16 cc
20cc
25cc
30cc
35cc
40cc
充填材料 Ga, In, その他蒸気圧が中位で、蒸発及び昇華温度が750~1300℃の材料を推奨
Alはホットリップヒーティングの使用ができません
ルツボ形状 コニカル シリンダー コニカル シリンダー
フィラメントタイプ 2つのフィラメントに対して個別コントロールができるデュアルTaワイヤー
マウントフランジ
(標準)
(水冷)

ICF70
ICF114

ICF114
ICF114

ICF70
ICF114
熱電対タイプ 2箇所、タイプC (W/Re 5/26%)
真空内長 203~381mm (8~19インチ)
操作温度 750~1300℃
最大脱ガス温度
1600℃
最大消費電力 17A/765W
15A/525W、17A/595W 19.5A/878W
15A/750W、12A/660W
水冷機構 VG仕様は標準、その他はオプション
電源 電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要

MBE セレクションガイド *デュアルフィラメントセル
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