株式会社アールデック

   




特長
・耐酸化構造により、操作温度MAX2000℃を実現しました。
・Fe, Co, Ni等磁性材料に最適です。
使用する材料により、ルツボとライナーの材質を変更することが出来ます。
・お客様にてフィラメントの交換ができます。

対象材料
Ag Au B BaF2
CaF2 Co Cr Cu
Ge Sc Y  

(注) ルツボの他にライナーが必要になります。
ルツボの種類 :PBN, PG, Al2O3, BeO, Ta, W
ライナーの種類:Al2O3, PG, BeO, ZrO2



  6cc 10cc 24cc 26cc
ルツボ形状
ルツボ寸法
(リップ径)
(インナー長)

12mm (0.482インチ)
46mm (1.81インチ)

12mm (0.482インチ)
77mm (3.02インチ)

29mm (1.129インチ)
76mm (2.98インチ)

13mm (0.5インチ)
76mm (2.98インチ)
充填材料 低蒸気圧で蒸発及び昇華温度が1300~2000℃の材料を推奨セルの操作温度は蒸発材料とルツボの反応を防ぐため2000℃以下になります。
ご用途をお知らせください
マウントフランジ
(標準)
(水冷)

ICF70
ICF114

ICF114
ICF114
セル長 (真空内) 229~356mm 標準 343mm
ニップルを用いて真空内長を調整します
真空内径  (標準)
      (水冷)
38mm
56mm
51mm
69mm
フィラメントタイプ Wワイヤー (交換可能)
熱電対タイプ 1箇所、タイプC (W/Re 5/26%)、非接触
操作温度 1300~2000℃
最大消費電力 お問い合わせ下さい
最大脱ガス温度 2000℃
水冷機構 VG仕様は標準、その他はオプション VG仕様は標準、その他シングルウエハ装置用、マルチ
ウエハ装置用クーリングジャケットのオプションあり
電源 1台使用、Veeco温調DC電源推奨

MBE セレクションガイド * 高温セル
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