株式会社アールデック











  ■ ご依頼時にご確認下さい ■

      □ 対象材料と推奨セル …………………… 対象材料と推奨セルの表をご確認下さい。
      □ 基板サイズと基板材質 ………………… (例)2", 3", GaAs, Si, In, Zn, Sapphire
      □ セルと基板の距離
      □ 基板に対する入射角度
      □ 基板回転の有無
      □ ご使用中のMBE装置のメーカー名
      □ 装置側取付フランジサイズ
      □ 装置側取付フランジボルト穴の仕様 … 貫通、又はタップ付き
      □ 装置側取付フランジポートの内径
      □ セルの長さ ……………………………… 仕様表中の対応可能範囲からご指定ください。
                            (例)Veeco/Varian/EPI=290mm (11.4インチ)
                                   RIBER49=283mm (11.16インチ)
                                  VG80/100=326mm (12.85インチ)
      □ 水冷機構必要性の有無 ………………… VGは必要
      □ シャッター必要性の有無 ……………… 手動又は圧空式
      □ 温度制御付きの加熱電源必要性の有無
      □ バルブクラッカーセルの場合 ………… サーボモーターコントロール (SMC)必要性の有無
バルブドクラッカーのシャッター付きはクラッキングゾーンに
水冷オプションを入れると付きません。

        □ プラズマソースの場合………… クライオパネルに対する最大角度、基板オフセット*

*ほとんどのMBEシステムはオフセットは0ですが、
VGシステムはオフセットが必要な場合があります。

       ■ 参考図 ■






MBE セレクションガイド *ご依頼時にご確認下さい
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