株式会社アールデック









■ 構成例 ■

 ・シングルフィラメント・
    1.スタンダードセル
    2.ホットリップセル (Modified)
    3.コールドリップセル (Al用)
    4.低温セル …
       セル本体、専用PBNルツボ、温調DC電源、熱電対、水冷コイル(必要な場合:VGなど) … 各1式
    5.高温セル (Ni, Fe, Cr, Co, B用) …
       セル本体、専用ルツボ、専用ライナー、温調DC電源、熱電対、水冷コイル(必要な場合:VGなど) … 各1式
         高温セルルツボの種類 …… PBN, PG, Al2O3, BeO, Ta, W
         高温セルライナーの種類 ……Al2O3, PG, BeO, ZrO2


・デュアルフィラメント・
    1.スタンダードセル
    2.低温セル …
       セル本体:1式   専用PBNルツボ:1個   温調DC電源:2式   熱電対:2式
       水冷コイル(必要な場合:VGなど):1式



・SUMO (デュアルフィラメント)・
    1.スタンダードセル ホットリップセル (Ga, In等用)
    2.コールドリップ (Al用)
    3.低温セル …
       セル本体:1式   専用PBN SUMOルツボ:1個   温調DC電源:2式   熱電対:2式
       水冷コイル(必要な場合:VGなど):1式


 ・フィラメント形状・

Single
Cold Lip
Hot Lip(特許)
(Modified)
Dual (and SUMO)
(Variable Hot Lip)


 ・ルツボ種類・
1.シリンダー 2.コニカル 3.SUMO (特許)
     長期に渡り均一性がよい

 ・バルブドクラッカー・
      1.500cc As用標準仕様
         セル本体:1式   温調DC電源:2式   熱電対:2式
         水冷コイル(必要な場合:VGなど):1式   SMC (オプション):1式
      2.500cc P用標準仕様
         セル本体:1式   温調DC電源:2式   熱電対:2式   白リン用コントローラ(オプション):1式
         水冷コイル(必要な場合:VGなど):1式   空冷:1式   SMC (オプション):1式
      3.200cc Sb用 (腐食性材料用、他 Te, Se)
         セル本体 (Taルツボ):1式   温調DC電源:3式   熱電対:3式
         水冷コイル(必要な場合:VGなど):1式   SMC:1式

 ・O2 / N2 RFプラズマソース標準仕様・
      O2 / N2ソース本体:1式
      ファインコントロールバリアブルリークバルブ:1式
      オートチューナ:1式
      RF電源:1式
      アパーチャープレート:1個 (本体に含む)
      RFコイル水冷配管:1式 (別途必要)
MBE セレクションガイド *構成例
Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.