株式会社アールデック

   

Optical Emission Spectrum for UNI-Bulb Plasma Source with Oxygen. Atomic and excited molecular species are indicated. Data courtesy of Translucent Photonics Inc.




特長
・一体型石英インレットチューブを使用しております。
・ビーム中のイオンは僅かです。
・低圧力下で使用可能です。


対象材料
O2





MBE装置 全ての研究用MBE装置に使用できます
供給ガス O2
最小取り付けフランジ ICF114 (4.5インチ)
真空内長さ 318mm (12.5インチ)
真空内径 54mm
供給ガス接続口 ICF34 (1.33インチ) 2ヶ所
プラズマバルブ アパーチャープレート付き高純度石英プラズマ放電容器
アパーチャープレート 固定型アパーチャープレート
加熱 誘導連結式
水冷 RFコイル・パワーフィードスルー (0.35l/min)40psi
イオンディフレクタプレート オプション
電源 600W RF(13.56MHz)、7mケーブル
チューニングユニット 手動式、空冷ファン、7mケーブル
オートチューナー(オプション) ユニット   203W × 102H × 305D
コントローラ 241W × 88H × 331D

MBE セレクションガイド *O2プラズマソース
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