株式会社アールデック

   



特長
・セルのフランジにコンパクトにマウントされたシャッター機構
・手動式、圧空式


真空内材質 Ta
ルツボとシャッター板の間隔 6mm (その他についてはご相談下さい)
ニューマチックアクチュエーター
 開閉スピード
 シャッターの回転角度
 供給圧力
 圧空配管接続口

50~100msec
90° (但し、10~180°に調整可能)
35~75psi
1/4インチ


  水冷機構


・VG社製MBE装置用には標準搭載




















特長
・PIDコントローラによる最適なセルの温度制御

消費電力 1500W
大きさ(mm) 241.3(W)×133.4(H)×508(D)
重量 11kg
使用環境温度 0~40℃
湿度 90%以下
入力 単相AC100~240V、50/60Hz
定格電流 7.6A

















特長

・最高加熱温度450℃
・成膜中のAs等の付着を防ぎ、大気側から温度モニター等による常時観察が可能

フランジサイズ ICF70、ICF114
DC電源 入力 AC100V
ケーブル ベーカブル7m








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