株式会社アールデック


高分解能電子エネルギー損失分光装置(HR-EELS)
LK Technoligies-ELS3000/5000

ドイツKFAのDr.Harald Ibachのライセンスをベースに、LK独自の技術改良を加えて製品化したものです。0.5meV(FWHM)の超高分解能を実現し、1.0meV分解能(FWHM)で検出器電流10pAを保証します。金属や半導体表面だけでなく、電荷中和技術により絶縁物やポリマーフィルム表面の高分解能分析も可能になりました。






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