株式会社アールデック

■ 超薄膜や単分子層の高感度その場分析

赤外反射吸収分光(IRRAS)は高感度反射法とも言われ、赤外光のp偏光成分を試料表面に入射角約80°で入射させることにより、金属表面に吸着した超薄膜や単分子層の化学構成・分子配列などを解明する方法として開発されてきました。
この測定手法を真空成膜装置に応用することにより、有機・無機薄膜の成長過程の解明や表面吸着物質の化学種の分析・配向の測定といったその場観察を高感度で行うことができ、in-situ IRRASと呼ばれています。



分析機器は真空チャンバ外に設置しますから、他の表面分析装置のように真空度による測定の制限や測定時のバックグランドに与える影響がありません。
弊社では、豊富な実績と経験をもとに、高感度FTIRを中心としてお客様の研究ニーズにマッチしたベストシステムを提案致します。

その他、各種オプションやアクセサリーについてはお問い合せ下さい!






■in-situ IRRASに最適な高感度FTIRを採用
システムの中心となるFTIRには干渉計にコーナーキューブを搭載した高感度FTIRを採用しています。コンパクトなモジュールタイプと本体試料室も使える汎用タイプの2種類を用意しています。

●他に類を見ない高S/N比
信号処理の中心に24ビットA/Dコンバータを採用しS/N比の向上を図るとともに、汎用機にはデジタル検出器を搭載することで、45,000:1という驚異的なS/N比を実現しました。

●コーナーキューブミラーによる良質なビーム
真空チャンバ内での測定などの場合、光路長が長くなるので光軸の安定した平行性の良い赤外光が要求されます。本機の干渉計に採用されているコーナーキューブミラーはフラットミラーに比べて平行性が良く機械的振動や温度変化に対しても安定です。

●サイドレーザー方式による高感度測定
センタレーザー(赤外光の中央にレーザーの光軸を設ける)方式では、最も感度の高い赤外ビームの中心部分が使えず、特に高感度反射光では感度の上で不利になります。
本機の干渉計はサイドレーザー方式を採用、赤外光を100%利用する事によって高感度測定を可能にしました。


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