株式会社アールデック
スパッタリングターゲット SPATTERING TARGETS

Plasmaterials, Inc. では、商用グレードから最高純度のゾーン精製による超高純度グレードまで
全範囲に渡るスパッタリングターゲット製品を提供しています。
これらの材料は既存のシステムはもちろん、特別なアプリケーションに要する特異なサイズにも適合するよう製造可能です。
PVD材料の製造には数多くの冶金技術が用いられています。


・ホットプレス
・熱間静水圧プレス (HIP)
・冷間静水圧プレス (CIP)
・真空焼結
・誘導溶解
・真空溶解 & 鋳造
・アーク溶解
・電子ビーム溶解
・プラズマ溶射
・共沈


向上したデザイン - ENHANCED DESIGN -
Plasmaterials独自の強化設計で、貴金属や磁気材料のスパッタリング用のターゲットを製造しています。


回転 - ROTARY -
Plasmaterials, Inc.ではロータリーカソードスパッタリングターゲット全製品の開発もしています。
材料には連続鋳造、押出、HIPやプラズマ溶射のいずれかが施され、ターゲットにより良い摩耗特性、長寿命、ユニークな物理特性や冶金特性を与えます。


貴金属 - PRECIOUS METALS -
Plasmaterials, Inc. は、金、銀、白金、パラジウムやイリジウムベースの金属を含め、あらゆる種類の貴金属物理蒸着材料を取り揃えています。
特殊合金化や製造技術を開発し、極めて高密度で微粒子構造の均質物質を供給します。


バッキングプレート - BACKING PLATES -
Plasmaterialsはほぼすべての従来型スパッタ装置用のバッキングプレートを製造しており、特別なアッセンブリの特注設計も可能です。
OFE銅、ステンレススチール、モリブデンあるいはアルミニウムでも、Plasmaterialsならお客様のニーズに合った寸法公差でご提供いたします。


ボンディングサービス - BONDING SERIVICES -
Plasmaterialsはボルト締めターゲット組を利用しない装置用に、スパッタリングターゲットをバッキングプレートへ接合するためのあらゆる金属接合をご用意しております。


品質管理 - QUALITY CONTROL -
Plasmaterialsが提供するすべての材料には、製品の正確な純度と微量元素の存在を保証する分析証明書が添付されています。

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