株式会社アールデック
【コンパクトRF 電源】 SPECTRUM

 ■コンパクトボディと優れたプロセス再現性を両立させた次世代のRF電源
 ■ACからRFへ変換効率が80 % (50Ω負荷にて)
 ■3kW、5kW、11kW出力

【スパッタリングDC電源】 OPTIMA

 ■今日の高度なスパッタリングプロセスに要求されるコントロール速度
  正確さを実現した次世代DC電源
 ■定格出力:5kW~100kW

【RFプラズマインピーダンスアナライザ】 V/I Probe

 ■プラズマチャンバ内の物理化学変化を電気的信号として外部供給
 ■負荷電圧・電流・位相角を正確に測定
 ■スミスチャート等各種ビジュアルデータ処理可能
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