株式会社アールデック
【真空配管部品・継手】

 ■ISO-KF、ISO-MF、CFを含む各種真空配管部品と継手
 ■標準品の他、用途に応じた真空チャンバ、特注配管なども対応可能


【バルブ】

 ■コンパクトベローズバルブ、自己発熱型バルブ、ソフトスタートが可能な2ステージバルブ等、用途に応じた各種真空バルブ
 ■標準品の他、用途に応じた真空チャンバ、特注配管なども対応可能

【HPSヒーテッドポンプライン】 48シリーズ

■真空配管用の成型仕様ヒーター
 ■設定温度:105℃、105℃
 ■CE/UL 認証の安全性に配慮した設計
 ■温度コントローラ搭載

【トラップ】

 ■シリコンナイトライドプロセス用水冷トラップを始め、
  TOESトラップ、メタルエッチトラップなど様々な
  半導体製造プロセスの歩留まりを改善する各種トラップ

Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.