株式会社アールデック



     デジタルマスフローコントローラ


GEシリーズ(エラストマシール)凡用サーマルマスフローコントローラー
GMシリーズ(メタルシール) 凡用サーマスマスフローコントローラー、メータオプションあり

 ■F.S.5~50000sccm
 ■マルチガス/マルチレンジに設定変更可能
 ■In-Sitaでの機能チェック、モニターが可能
 ■高精度・設定値の1%精度を実現(校正ガス)



IEシリーズ(エラストマシール) IP66仕様サーマルマスフローコントローラ
IMシリーズ(メタルシール) IP66仕様サーマルマスフローコントローラ、メータオプションあり
■F.S. 5~50000sccm
■IP66仕様(防水、防塵)
■マルチガス/マルチレンジ対応
■In-Situでの機能チェック、モニターが可能
■高精度・設定値の1%精度を実現(校正ガス)

M200/M330マスフローコントローラ用電源付流量設定表示器 OPT327

■MFCの出力に相当する流量値(OUT)を前面スパンボリューム・小数点切り替えスイッチで
スケーリング表示
■「SET/OUT」切り替えスイッチにて設定値を表示
■出力電圧 
 +15V±3% 200mA
 -15V±3%  200mA
(±15Vはそれぞれ100mA/300mAに対応)
 +24V±3% 250mA オプション
■電源:AC100~240V
■外形寸法:W96×H48×D131mm


ガスボックス用流量べリファイシステム GBROR

■MFCを取り外すことなく流量精度をチェック
■ガス種に依存しないRate-of-Rise方式を採用
■実ガスでの測定が可能で高精度
■測定流量レンジ:最高20slm

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