株式会社アールデック

アップストリーム制御:流量コントロールバルブとバラトロン真空計による圧力制御
【圧力ベースマスフローコントローラ】 1640A

■イオン注入のSDS用ガス供給
 ■常圧TEOS CDVのオゾン供給
 ■ソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ


【自動圧コントローラ】 640A / 641A

 ■F.S.レンジ :1.33kPa~689kPa
 ■絶対圧(640A)/ゲージ圧(641A)を1台で自動制御、ダウンストリーム制御も可能
 ■バラトロン圧力計と比例制御バルブを一体化



【オールメタルシールコントロールバルブ】 148J

 ■F.S.レンジ :10sccm~20slm
 ■オールメタルシール流量比例制御バルブ
 ■運転温度:5~150℃ (温度指定)


【圧力/流量制御用シングルガス・コントローラ】 250E

 ■電源出力:±15VDC、250mA
 ■コントロールバルブ/圧力計 (圧力制御)
 ■コントロールバルブ/流量計 (流量制御)

【シングルチャンネルパワーサプライ/リードアウト】 246C

 ■電源出力:±15VDC、0.5A
 ■外部セットポイント入力可
 ■ガス補正計数ポテンショメーター付き


【フロー/圧力プログラマ/ディスプレイ】 647C

 ■電源出力:±15VDC、4.0A
 ■RS232C インタフェース付き
 ■最高8つまでのフローチャンネルと1つの圧力チャンネル
[詳細]
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