株式会社アールデック
実績のある四重極質量分析計と分析用ソフトウェア
【スマートヘッド四重極質量分析計】 MicroVision2

 ■高速でワイドなダイナミックレンジ
 ■コントローラをアナライザに直接付けるスマートヘッドタイプ
 ■汚染に耐性のあるダブルフィルタ
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【四重極質量分析計】 e-Vision2

 ■真空ライン、溶接やシールのリークの検出
 ■ポンプダウンの監視
 ■冷却水ラインの漏れ監視
 ■汚染物質のモニタリング



【高圧力差動四重極 RGA】 SPECTRA HPQ3シリーズ

 ■PVDプロセスでは差動排気系ポンプ不要
 ■全自動 in-situプロセスモニタリング可能
 ■自動定期レポート可能なソフトウェア

【バキュームクオリティモニタ(VQM)システム】 シリーズ835VQM質量分析計システム

 ■80ミリ秒で1~145amu、120ミリ秒で1~300amu範囲の全圧・分圧測定
 ■一般的な10種の主要構成ガスのパーセンテージ、絶対値、全圧・分圧のトレンドグラフに即アクセス
 ■水素とヘリウムを正確に測定(ゼロプラストなし)
 ■真空システムでご使用中のガスで簡単に単一ガス校正可能
 ■わずか15Wの所要電力
 ■1~15mのケーブルを使用し遠隔でのゲージ取り付けが可能


【大気圧オンラインモニタ】 Cirrus2

 ■高性能Q-Massを用いたEthernetインタフェース搭載の
  ベンチトップ型ガス分析システム
 ■ppb~%レベル検出が可能
 ■用途:混合ガスの同定や分析など


【大気圧オンラインモニタ】 Cirrus3-XD

プロセスガス中のコンタミ、溶剤蒸気、炭化水素、
待機及び無機ガス種、フレオン、希ガス等の気体を
in-situで監視、分析に最適
V-lens光学系により前モデルよりもバックグラウンドを低減

【四重極プロセスモニタ】 Vision 2000-C/E

 ■CVD、エッチング、イオン注入プロセスのin-situ連続
  プロセスモニタリング可能
 ■RGAアナライザ、真空システム、制御ユニット、ソフトウェアからなる
  一体型システム
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