株式会社アールデック
マイクロプローブシステム


特長
MMRマイクロプローブシステムは、超小型冷却加熱ステージにマウントされたデバイスをプローブを用いて測定することを可能にします。
各マニピュレータに付属するプローブを10mm × 12mmのサンプルのどこにでも50ミクロンの精度で位置づけすることができます。
チャンバは、1~7のプローブ針から選択でき、写真のプローブは、5針タイプとなります。


仕様
温度範囲(下記よりご選択下さい)
・室温 (300K)
・80K ~580K
・300K~730K
   *最低冷却温度は環境により80±2Kとなります。
・温度安定性       :± 0.1 K
・温度反応性       :1 K/秒
・サンプルステージサイズ :14 mm × 10 mm
・標準窓材質       :石英ガラス
・オプション窓材質    :サファイア、石英
・最大サンプルサイズ   :10 mm × 12 mm
・プローブ動作距離 - X/Y/Z:25 mm × 25 mm × 6 mm
・ポジショニング精度   :50ミクロン


オプション
・除振台
・より良い真空度のためのターボポンプ
・カスタムプローブ(ファイバーオプティックなど)

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