株式会社アールデック
東京電子-最新のセンサー技術_タイトル
クリスタル/コールドカソードゲージ  CC-10     

東京電子-CC-10最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力 測定範囲(1.0×105~1.0×10-7Pa)の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から1Paまではクリスタルゲージ、1Paから10-7Paまでは コールドカソードゲージを使用し測定します。
センサー・ 回路部・ディスプレイ一体型により、本製品のみで 圧力表示・セットポイントによるシステム制御が行えます。
また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備しております。

測定範囲    :1.0×105~1.0×10-7Pa
センサー    :クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ
表示      :7セグメントLED
アナログ出力  :DC0~10[V]  log出力または複合出力から選択
セットポイント :3点(1点独立、2点はコモン共通)
    接点容量;DC50V、0.12[A]
デジタル
インターフェイス:RS485
フランジ    :NW25、又はICF70
電源電圧    :DC22~26[V]
動作時周囲温度 :0~50[℃]
ベーキング温度 :Max 100℃ (回路は取り外すこと)
外径寸法    :94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]  (NW25)
         94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]  (ICF70)
重量      :840[g]  (NW25)
         1060[g] (ICF70)


・CC-10専用表示器 DS-10 :小型なボディー(48(W)×45(H)×100(D)[mm])で
               密度の高い実装が可能です。
・アダプタセット1 AC-1-5:AC100[V]からCC-10本体への電源供給用
・アダプタセット2 AC-2-5:AC100[V]からCC-10本体、専用表示器への電源供給用


・真空蒸着装置          ・ 光学薄膜生成装置
・加速装置とUHV研究      ・ 電子デバイス製造装置
・光電子工学のデバイス製造装置

お客様でメンテナンスが行えます。
下記はクリーニングの手順です。



ミニチュアイオンゲージ IG-10            
東京電子-IG-10センサー・回路一体型のトランスデューサー型B-Aゲージ
フィラメント2本を標準装備
(断線を防ぐ保護機能付き)


測定範囲    :1.33×10-7~6.65Pa
表示      :デジタル表示 (仮数部3桁、指数部2桁)
フィラメント材質:イットリアコートイリジウム
デガス     :4(W) ボンバード方式
エミッション電流 ・4(mA)  推奨圧力範囲 1.33×10-7~1.0×10-2(Pa)
(切替方式)    :・100(μA) 推奨圧力範囲 1.0×10-4~6.65(Pa)
外部制御    :FIL ON/OFF・デガスON/OFF・エミッション切替
ガス種設定   :N2・Air・O2・CO2・Ar・He等 16種類
アナログ出力  :0~9(VDC) [ログリニア]:1(V)/1桁
使用温度    :温度0~40℃ 湿度95%以下 (結露せぬこと)
ベーキング温度 :200℃ (回路部を取り外すこと)
電源      :DC20~28V 14[W]
外径寸法    :70(W)×82(H)×68(W) mm (センサー部は除く)
フランジ    :NW25、ICF70
通信機能    :RS-485
セットポイント :1点





ピラニゲージコントローラー  PG-20/PG-30     
東京電子-PG-20/PG-30故障に強い定温度型
1.0×10-1~1.0×104(Pa)の測定範囲
小型なボディーで省スペース化が可能


測定範囲:1.0×10-1~1.0×104 (Pa)
出力信号:a) 制御出力   リレー接点出力容量AC100Vmax・1Amax
              (設定値より圧力が低いとき出力ONとなる)
     b) アナログ出力  0~5V F.S. (1V/1桁)
      出力インピーダンス 1KΩ
使用温度:温度5~40℃・湿度90%以下 (結露せぬこと)
電源  :PG-20:AC85~132V・12VA以下(AC100V、50/60Hz)
     PG-30:DC24V±10% 8W以下
外径寸法:96(W)×96(H)×120(D) mm (突起部は除く)
測定子 :型式 S-212 (Φ15/Φ18) 他
製品構成:本体・測定子・センサーケーブル・電源ケーブル (PG-20のみ)




コンベクションピラニゲージコントローラー  VG-10   
東京電子-VG-10大気圧からの計測が可能
1.4×10-1~1.0×105 (Pa)の測定範囲
コンベクション型により精確な計測が可能


測定範囲:1.4×10-1~1.0×105 (Pa)
出力信号: a) 制御出力   リレー接点出力容量AC125 Vmax・1Amax
              (設定値より圧力が低い時、出力ONとなる)
      b) アナログ出力 1V/1桁 (-3V~+3V…+2V…+8V)
使用温度:温度 -10~60℃・湿度 10~80%
電源  :AC85~260V
外径寸法:96(W)×96(H)×209(D) mm (突起部は除く)
測定子 :型式 S-251 (NW16)、S-260(NW25)
製品構成:本体・測定子・センサーケーブル・電源ケーブル

Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.