株式会社アールデック

AEV-1P-300 エバポレーター専用コントローラー


特長
AEV-1P-300はAEV-11, AEV-3専用に設計されたコントローラーです。AEV-11, AEV-3と組み合わせて使用することにより、マニュアル操作によるコントロールはもちろん、フラックスモニターを使ったレートコントロールにより、自動制御が可能です。
制御レンジは7レンジ構成で、レートコントロールが幅広く対応できるようになっております、尚、フラックスモニターのEXT出力をモニターする事により、蒸着条件の記録が可能です。
ガン本体にある温度モニターを利用し、安全回路を設けてあることにより、安心してご使用頂けます。





仕様
サイズ        :480(W)×149(H)×500(D)
入力電源       :AC 100V / 5A
フィラメント電流   :0 ~ 5A
HVフィラメント    :0 ~ 1000V at 300mA
フラックスモニター入力:0 ~ 10nAから0 ~ 10mA (7レンジ切替式)
フラックスモニター出力:0 ~ 10V
インターロック    :ドライ接点
内部インターロック  :冷却部温度モニター
            HV異常放電
            設定値によるエミッションオーバーラン防止
自動フラックスコントロール






シリーズ、いろいろ >>



Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.