株式会社アールデック



高品質有機膜の蒸着や多源蒸着に最適!!

【特長】
・蒸着エリアを制御しながら、低量の蒸着レートにより薄膜作製ができます。 (結晶性の高い有機薄膜が作製可能)
・フライトチューブの採用により、効率よく材料を使用する事ができます。
・中空Zステージとの組み合わせにより、蒸着源位置が可変できるので
 既存のシステムに容易に導入できます。
・蒸着エリアを制御する事により、蒸着チャンバーの汚染が最小に抑えられます。

【仕様】
・蒸着エリア    :Φ20~
   (蒸着距離可変により調整)
・蒸着速度     :数原子層/min
・取り付けフランジ :Φ70ICF
・シャッター機構付
・ルツボ温度モニター :TYPE-K

【蒸発可能材料】
          :アントラセン分子
          :ペリレン誘導体
          :クォテリレン分子 他





 ・AEV-ODで蒸着したC40H20膜のX線回折による結晶構造          ・水晶振動式膜厚計による測定
                                      (積算膜厚と蒸着時間により算出した蒸着レート)






本製品は、独立行政法人物質・材料研究機構との平成19年度共同開発による製品です。  [特許申請中]







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