株式会社アールデック

大口径3軸マニピュレーター ALF3



各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • LM型:±12.5mm(0.005mm)
  • LMS型:±25mm(0.005mm)
  • 大口径移動フランジ:ICF152、ICF203
  • モーター駆動にも対応可能

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    マイクロメーター部除く




    型 式
    XY軸移動距離
    (mm)
    XY軸移動精度
    (mm)
    Z軸移動距離
    (mm)
    / Z軸移動精度
    (mm)
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C内径
    (mm)
    D
    (mm)
    E
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALF3-8/6/50LM/H ±12.5
    0.005
    50 / 1 ICF203-FT
    ICF152-FH
    φ102 250~300 268.5
    ±12.5
    37
    ALF3-8/6/100LM/H 100 / 1 250~350 38
    ALF3-8/6/150LM/H 150 / 1 250~400 39
    ALF3-8/6/200LM/H 200 / 1 250~450 40
    ALF3-8/6/250LM/H 250 / 1 255~505 41
    ALF3-8/6/300LM/H 300 / 1 260~560 42
    ALF3-8/6/50LMS/H ±25
    0.005
    50 / 1 270~320 298
    ±25
    37
    ALF3-8/6/100LMS/H 100 / 1 275~375 38
    ALF3-8/6/150LMS/H 150 / 1 280~430 39
    ALF3-8/6/200LMS/H 200 / 1 285~485 41
    ALF3-8/6/250LMS/H 250 / 1 290~540 42
    ALF3-8/6/300LMS/H 300 / 1 295~595 43
    ALF3-8/8/50LM/H ±12.5
    0.005
    50 / 1 ICF203-FT
    ICF203-FH
    φ152 250~300 268.5
    ±12.5
    39
    ALF3-8/8/100LM/H 100 / 1 250~350 41
    ALF3-8/8/150LM/H 150 / 1 250~400 42
    ALF3-8/8/200LM/H 200 / 1 250~450 43
    ALF3-8/8/250LM/H 250 / 1 255~505 44
    ALF3-8/8/300LM/H 300 / 1 260~560 45
    ALF3-8/8/50LMS/H ±25
    0.005
    50 / 1 300~350 298
    ±25
    40
    ALF3-8/8/100LMS/H 100 / 1 305~405 41
    ALF3-8/8/150LMS/H 150 / 1 310~460 42
    ALF3-8/8/200LMS/H 200 / 1 315~515 43
    ALF3-8/8/250LMS/H 250 / 1 320~570 44
    ALF3-8/8/300LMS/H 300 / 1 325~625 46




    Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.