株式会社アールデック

中空Zステージ ALM-275



各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型:内径φ39mm
  • ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
  • ロングストローク、モーター駆動にも対応可能

  • 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃




    型式 Z軸移動距離(mm)
    Z軸移動精度(mm)
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C(mm) D(mm) 重量(Kg)
    ALM-275-1/25 25mm
    1mm
    ICF70-FH
    ICF70-FT
    85~110 179 3
    ALM-275-1/50 50mm
    1mm
    85~135 204 3.1
    ALM-275-1/100 100mm
    1mm
    105~205 274 3.5
    ALM-275-1/150 150mm
    1mm
    130~280 349 4.5
    ALM-275-1/200 200mm
    1mm
    160~360 429 4.9
    ALM-275-1/250 200mm
    1mm
    190~440 509 5.5
    ALM-275-1/300 300mm
    1mm
    210~510 579 5.8



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