株式会社アールデック

中空Zステージ ALM4



各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型:内径φ70mm
  • ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
  • ロングストローク、モーター駆動にも対応可能

  • 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃




    型 式
    Z軸移動距離(mm)
    Z軸移動精度(mm)
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C
    (mm)
    D
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALM-4/50 50
    1
    ICF114-FH
    ICF114-FT
    150~200 222 10
    ALM-4/100 100
    1
    160~260 282 12
    ALM-4/150 150
    1
    185~335 357 14
    ALM-4/200 200
    1
    220~420 442 16
    ALM-4/300 300
    1
    227~527 549 18
    ALM-4/400 400
    1
    245~645 667 22
    ALM-4/500 500
    1
    300~800 822 25


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