株式会社アールデック

中空直線導入機 ALMB



各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型:内径φ16mm
  • 直進力:150N
  • 分解能:0.1mm
  • 取付場所を選ばないコンパクト設計

  • 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    直進力 150N




    型 式
    Z軸移動距離(mm)
    Z軸移動精度(mm)
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALMB-133/30 30
    0.1
    ICF34-FH
    ICF34-FT
    91~121 0.6
    ALMB-133/50 50
    0.1
    116~166 0.7




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