株式会社アールデック

直線導入機 ALML



各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中実型:軸径φ6(g6)
  • 直進力:150N
  • 分解能:0.5mm

  • 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    直進力 150N




    型 式
    Z軸移動距離(mm)
    Z軸移動精度(mm)
    A接続フランジ
    移動軸径
    (mm)
    C
    (mm)
    D
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALML-133/20 20
    1
    ICF34-FH φ6
    (g6)
    113.5~133.5 10~30 0.6
    ALML-133/30 30
    1
    130.5~160.5 10~40 0.6
    ALML-133/50 50
    1
    173.5~223.5 10~60 0.8


    Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.