株式会社アールデック

直線導入機 ALMP



各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 非磁性・ベーキング対応
  • シャッター機構などの待機側での位置確認が可能
  • 押付を必要とされる機構に最適
  • 圧空駆動オプション対応
  • 中実型:軸径φ6(g6)
  • 直進力:30N
  • 分解能:5mm

  • 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 プッシュプル式
    許容加熱温度 ≦200℃
    直進力 30N




    型 式
    Z軸移動距離(mm)
    Z軸移動精度(mm)
    A接続フランジ
    移動軸径
    (mm)
    C
    (mm)
    D
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALMP-133/25 25
    5
    ICF34-FH φ6
    (g6)
    218~243 50~75

    0.7

    ALMP-133/50 50
    5

    282~332

     

    50~100 0.9
    ALMP-133/75 75
    5

    339.5~414.5

     

    50~125 1
    ALMP-133/100 100
    5

    404.5~504.5

     

    50~150 1.1


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