株式会社アールデック

直線導入機 ALMR



各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中実型:軸径φ6(g6)
  • 直進力:120N
  • 分解能:0.01mm
  • モーター駆動にも対応可能

  • 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    直進力 120N




    型 式
    Z軸移動距離(mm)
    Z軸移動精度(mm)
    A接続フランジ
    移動軸径
    (mm)
    C
    (mm)
    D
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALMR-133/10 10
    0.01
    ICF34-FH φ6
    (g6)
    130.5 50~ 60 0.7
    ALMR-133/20 20
    0.01
    153.5 50~ 70 0.8
    ALMR-133/50 50
    0.01
    213.5 50~100 0.9
    ALMR-275/10 10
    0.01
    ICF70-FH 130.5 50~ 60 1
    ALMR-275/20 20
    0.01
    153.5 50~70 1
    ALMR-275/50 50
    0.01
    213.5 50~100 1.4




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