株式会社アールデック

中空Zステージ ALMS



各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型 :内径φ39mm
  • 分解能 :0.1mm
  • 取付場所を選ばないコンパクト設計

  • 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃




    型 式
    Z軸移動距離(mm)
    Z軸移動精度(mm)
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C
    (mm)
    D
    (mm)
    E
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALMS-275/25 25
    0.1
    ICF70-FH
    ICF70-FT
    85~110

    157~182

    136 2.3
    ALMS-275/50 50
    0.1
    85~135 182~232 2.5
    ALMS-275/75 75
    0.1
    90~165 202~277 2.5
    ALMS-275/100 100
    0.1
    105~205 232~332 3
    ALMS-275/150 150
    0.1
    120~270 282~432 3.5
    ALMS-4/275/25 25
    0.1
    ICF114-FH
    ICF70-FT
    85~110 157~182 180 3.3
    ALMS-4/275/50 50
    0.1
    85~135 182~232 3.5
    ALMS-4/275/75 75
    0.1
    90~165 202~277 3.7
    ALMS-4/275/100 100
    0.1
    105~205 232~332 4
    ALMS-4/275/150 150
    0.1
    120~270 282~432 4.5


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