株式会社アールデック

ラック&ピニオンフィードスルー ALP



各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が、大気側から操作できます。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • ラック&ピニオン駆動方式を採用
  • 第2軸の増設も可能

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ラック&ピニオン方式
    許容加熱温度 ≦200℃




    型 式
    Z軸移動距離
    (mm)
    A接続フランジ
    B接続フランジ
    C
    (mm)
    移動軸径
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ALP-275/800 800 ICF70-FH
    ICF34-FT
    980 φ8 (g6) 8.9
    ALP-275/1000 1000 1180 9.6
    ALP-275/1200 1200 1380 10.3




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