株式会社アールデック

マグネットフィードスルー AMF-133



各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が、大気側から操作できます。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 回転防止機構(AMF-RL)オプション

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    駆動方式 マグネットカップリング方式
    許容加熱温度 ≦200℃
    直進力 50N
    回転トルク 0.4Nm




    型 式
    Z軸移動距離
    (mm)
    A接続フランジ
    移動軸径
    (mm)
    C
    (mm)
    重量
    (Kg)
    AMF-133/100 100 ICF34-FH φ6 (g6) 286 1
    AMF-133/150 150 336
    AMF-133/200 200 386 2.1
    AMF-133/250 250 436
    AMF-133/300 300 486
    AMF-133/400 400 586 2.2




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