株式会社アールデック

マグネットフィードスルー AMF-275



各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が、大気側から操作できます。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 連続360°回転と直進の移動が可能
  • φ10、φ16の2種類の移動軸から選択
  • 回転防止機構(AMF-RL)オプション
  • 遠隔操作機構(AMF-REM)オプション
  • サンプルトランスファー(AST-RL)対応

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    駆動方式 マグネットカップリング方式
    許容加熱温度 ≦200℃
    直進力 60N
    回転トルク 0.6Nm




    型 式
    Z軸移動距離
    (mm)
    A接続フランジ
    移動軸径
    (mm)
    C
    (mm)
    重量(注)
    (Kg)
    AMF-275/200 200 ICF70-FH φ10 (g6)
    φ16 (g6)
    420 2.6
    AMF-275/300 300 520 2.8
    AMF-275/400 400 620 3
    AMF-275/500 500 720 3.2
    AMF-275/600 600 820 3.3
    AMF-275/700 700 920 3.5
    AMF-275/800 800 1020 3.7
    AMF-275/900 900 1120 3.9
    AMF-275/1000 1000 1220 4.1
    AMF-275/1100 1100 1320 4.3
    AMF-275/1200 1200 1420 4.5




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