株式会社アールデック

2軸マグネットフィードスルー(リニアタイプ) AMFL-275



各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が、大気側から操作できる2軸の資料搬送機構です。


直進移動と回転運動を同時に行う事が可能で、真空中での試料等の搬送に適しています。
第1軸パイプシャフトの内部に第2軸のシャフトが組み込まれており、
第1軸と連動で直進・回転ができるほか、第2軸単独でマイクロメーターにより
15mmの直進移動を行い、任意の位置決めが可能です。
先端オプションを取り付ける事により幅広い用途に使用することが出来ます。


取付フランジ ICF70-FH
移動軸径 第1軸φ16パイプシャフト
第2軸φ6シャフト
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec以下
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃(マイクロメーター除く)
直進力 49N
回転トルク 0.6Nm(第1、2軸共)
第1軸駆動ハンドル回転 360℃
第2軸駆動ハンドル回転 第1軸連動
第2軸駆動ハンドル移動量 15mm(マイクロメーター移動)
ストローク 200mm~1200mm(100mm毎)



※上の写真は先端オプション付です。




型 式
Z軸移動距離
(mm)
L1
重量
(Kg)
AMFL-275/200 200 437 2.8
AMFL-275/300 300 537 3.0
AMFL-275/400 400 637 3.2
AMFL-275/500 500 737 3.4
AMFL-275/600 600 837 3.6
AMFL-275/700 700 937 3.8
AMFL-275/800 800 1037 4.0
AMFL-275/900 900 1137 4.2
AMFL-275/1000 1000 1237 4.4
AMFL-275/1100 1100 1337 4.6
AMFL-275/1200 1200 1437 4.8

※仕様以外での寸法でも製作可能ですのでお問合せ下さい。




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