株式会社アールデック

2軸回転マグネットフィードスルー AMFW-275



各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が、大気側から操作できます。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 第1軸:連続360°回転・直進移動
  • 第2軸:90°回転
  • サンプルトランスファー(AST-MH)対応

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    駆動方式 マグネットカップリング方式
    許容加熱温度 ≦200℃
    直進力 60N
    回転トルク 0.6Nm(第1,2軸共)




    型 式
    Z軸移動距離
    (mm)
    A接続フランジ
    移動軸径
    (mm)
    回転角度
    B
    (mm)
    重量(Kg)
    AMFW-275/400 400 ICF70-FH 第1軸:φ16(g6)
    第2軸:φ6(g6)
    第1軸:180°
    第2軸:90°
    720 5.4
    AMFW-275/500 500 820 7.7
    AMFW-275/600 600 920 6.8
    AMFW-275/700 700 1020 6.4
    AMFW-275/800 800 1120 6.8
    AMFW-275/900 900 1220 7.1
    AMFW-275/1000 1000 1320 7.4




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