株式会社アールデック

3軸マニピュレーター AMP



各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • SM型:±12.5mm(0.01mm)
  • LM型:±12.5mm(0.005mm)
  • ICF34-FT導入ポート付(AMP-4は含まず)
  • モーター駆動にも対応可能

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    マイクロメーター部除く




    型 式
    XY軸移動距離
    (mm)
    XY軸移動精度
    (mm)
    Z軸移動距離
    (mm) /
    Z軸移動精度
    (mm)
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C
    (mm)
    D
    (mm)
    E
    (mm)
    重量
    (Kg)
    AMP-4/275/50SM ±12.5
    0.01
    50 / 1 ICF114-FH
    ICF70-FT
    235~285 319 - 11
    AMP-4/275/100SM 100 / 1 240~340 374 12
    AMP-4/275/150SM 150 / 1 245~395 430 13
    AMP-4/275/200SM 200 / 1 250~450 484 14
    AMP-4/275/50LMS ±12.5
    0.005
    50 / 1 235~285 325 11
    AMP-4/275/100LMS 100 / 1 240~340 380 12
    AMP-4/275/150LMS 150 / 1 245~395 435 13
    AMP-4/275/200LMS 200 /1 250~450 490 14
    AMP-6/275/50SM ±12.5
    0.01
    50 / 1 ICF152-FH
    ICF70-FT
    235~285 319 ICF34-FTx4 12
    AMP-6/275/100SM 100 / 1 240~340 374 13
    AMP-6/275/150SM 150 / 1 245~395 430 13
    AMP-6/275/200SM 200 / 1 250~450 484 14
    AMP-6/275/50LMS ±12.5
    0.005
    50 / 1 235~285 325 12
    AMP-6/275/100LMS 100 / 1 240~340 380 13
    AMP-6/275/150LMS 150 / 1 245~395 435 14
    AMP-6/275/200LMS 200 / 1 250~450 490 15
    AMP-8/275/50SM ±12.5
    0.01
    50 / 1 ICF203-FH
    ICF70-FT
    235~285 319 ICF34-FTx5 13
    AMP-8/275/100SM 100 / 1 240~340 374 14
    AMP-8/275/150SM 150 / 1 245~395 430 15
    AMP-8/275/200SM 200 / 1 250~450 484 16
    AMP-8/275/50LMS ±12.5
    0.005
    50 / 1 235~285 325 13
    AMP-8/275/100LMS 100 / 1 240~340 380 14
    AMP-8/275/150LMS 150 / 1 245~395 435 15
    AMP-8/275/200LMS 200 / 1 250~450 490 16




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