株式会社アールデック

回転導入機 ARM



各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 真空側軸受けには長寿命なドライ潤滑ベアリングを採用
  • ストッパーにより任意の角度設定が可能

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    駆動方式 マグネットカップリング方式
    許容加熱温度 ≦200℃




    型 式
    A接続フランジ
    移動軸径
    (mm)
    C
    (mm)
    D
    (mm)
    E
    (mm)
    回転トルク(Nm)
    重量
    (Kg)
    ARM-133 ICF34-FH φ6(g6) 104.5 50 φ39 0.1 0.3
    ARMH-133 0.4
    ARM-275 ICF70-FH φ8(g6) 151.5 φ65 1.7 2.4


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