株式会社アールデック

ロータリーステージ ARS



各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応(差動排気:1Pa以下)
  • 中空型連続回転ステージ
  • 角度分解能:0.1°
  • 回転速度:2rpm以下
  • モーター駆動にも対応可能

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    (1Pa以下の差動排気が必要)
    真空シール方式 UHVシール方式
    駆動方式 ウォームギヤ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    角度分解能 0.1°
    回転速度 2rpm 以下




    型 式
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C内径
    (mm)
    D
    (mm)
    E
    (mm)
    F差動排気
    フランジ
    G
    (mm)
    H
    (mm)
    I
    (mm)
    重量
    (Kg)
    ARS-275 ICF70-FT
    ICF70-FT
    φ39 70 18 ICF34-FT 60 74 68.5 3.2
    ARS-4 ICF114-FT
    ICF114-FT
    φ65 70 89 4.2
    ARS-6 ICF152-FT
    ICF152-FT
    φ105 90 119 96 6.4
    ARS-8 ICF203-FT
    ICF203-FT
    φ155 100 33 120 169.5 174 13.5




    Copyright(c)1988-2016 R-DEC Co.,Ltd. All Rights Reserved.