株式会社アールデック

チルトステージ ATS



各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 移動角度:±5°

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    マイクロメーター部除く




    型 式
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C内径
    (mm)
    D
    (mm)
    E
    (mm)
    F
    (mm)
    G
    (mm)
    H
    (mm)
    傾斜角
    重量
    (Kg)
    ATS-275 ICF70-FH
    ICF70-FT
    φ38 118±6.5 45 80 φ110 160 ±5° 2
    ATS-4 ICF114-FH
    ICF114-FT
    φ70 129±6.5 53 95 φ155 205 4.7




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