株式会社アールデック

ウォームギヤ回転導入機 AWG



各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • ウォームホイール&ギヤ駆動方式
  • 中空軸により多軸導入に応用可能
  • 回転軸寸法/形状の指定可能

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    駆動方式 マグネットカップリング方式
    許容加熱温度 ≦200℃




    型 式
    A接続フランジ
    B接続フランジ
    C
    (mm)
    減速比
    重量
    (Kg)
    AWG-275 ICF70-FH
    ICF34-FT
    ご指定長 1/30 3.6




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