株式会社アールデック

XYステージ AXY



各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。


  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • NM型:±12.5mm
  • SM型:±12.5mm(0.01mm)
  • LM型:±12.5mm(0.005mm)
  • モーター駆動にも対応可能

  • 許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
    真空シール方式 溶接ベローズ方式
    駆動方式 ネジ式
    許容加熱温度 ≦200℃
    マイクロメーター部除く




    型 式
    XY軸移動距離
    (mm) /
    XY移動軸精度(mm)
    A接続フランジ
    B移動フランジ
    C内径
    (mm)
    D
    (mm)
    E
    (mm)
    F
    (mm)
    重量
    (Kg)
    AXY-275NM ±12.5 / 1.0 ICF70-FT
    ICF70-FT
    φ39 130 145.5±12.5 90 3.1
    AXY-275SM ±12.5 / 0.01 199.5±12.5 3.4
    AXY-275LM ±12.5 / 0.005 193.5±12.5 3.5
    AXY-4/275NM ±12.5 / 1.0 ICF114-FT
    ICF70-FT
    145.5±12.5 3.8
    AXY-4/275SM ±12.5 / 0.01 199.5±12.5 3.9
    AXY-4/275LM ±12.5 / 0.005 193.5±12.5 4.1
    AXY-4/4NM ±12.5 / 1.0 ICF114-FT φ70 180 170.5±12.5 130 8.1
    AXY-4/4LM ±12.5 / 0.005 218.5±12.5 8.4
    AXY-6/4NM ±12.5 / 1.0 ICF152-FT
    ICF114-FT
    170.5±12.5 9.8
    AXY-6/4LM ±12.5 / 0.005 218.5±12.5 10
    AXY-8/4NM ±12.5 / 1.0 ICF203-FT
    ICF114-FT
    170.5±12.5 150 12
    AXY-8/4LM ±12.5 / 0.005 218.5±12.5
    ※Xステージもございます。



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