株式会社アールデック





大気圧状態のガス中の微量ガス等のリアルタイム分析を
するために、 4室からなる差動排気系を持ち、
オリフィス間を10mm以下にすることにより、 効率よく
ガスをサンプリングする事が可能 なガス分析用差動排気システムです。




[特長]
  • 第3室には、水平・垂直方向どちらでも、Qマス等の取り付け が可能な
     φ203ICFポートを装備しています。
  • 各オリフィスは交換式となっており、オリフィス径を自由に 設定可能です。
     また、交換・調整等の作業性を考慮した設計 がなされています。
  • オリフィス間にクライオパネルを取り付ける事も可能です。


  • [仕様]
    差 動 排 気 系
    ガス導入/反応室
    大気圧~10-1Pa台
    ロータリーポンプ 250L/m
    (バタフライバルブにより圧力調整)
    第1室
    10-2Pa~10-3Pa台
    ターボモレキュラポンプ 500L/s
    ロータリーポンプ 250L/m
    第2室
    10-5Pa~10-6Pa台
    ターボモレキュラポンプ 250L/s
    ロータリーポンプ 250L/m
    第3室
    10-7Pa~10--8Pa台
    ターボモレキュラポンプ 500L/s
    ロータリーポンプ 250L/m
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