株式会社アールデック






電界電子放射(Field Emission, FE)効率の最も良い超高真空下において、
正確にそのエミッション量の測定が可能です。高精度マニピュレーターにより、
点・線・面の放射効率の測定を可能とします。




[仕様・性能]

<測定チェンバー>

  • サイズ φ100×H270(ステンレス製)
  • 表面処理 複合電解研磨
  • ベーキング シースヒータ式 Max.250℃   (4ch 温度コントローラ含む)
  • 観察ポート ビューイングポート   (ICF152)×2、実体顕微鏡
  • 到達真空度 1×10-8 Pa台
  • 真空性能測定器 質量分析計   (Q-MS) ~100amu

    <超高真空排気系>
  • 主排気ポンプ スパッターイオンポンプ 160L/sec
  • 補助ポンプ Saes ゲッターポンプ
      ターボモレキュラーポンプ 250L/sec
     ターボモレキュラーポンプ 50L/sec
     スクロールポンプ 250L/min
  • 真空測定器 電離真空計
    (ヌードイオンゲージ式)~10-9Pa台

    <基板保持機構>
  • 移動量X、Y ±12.5mm Z 50mm ティルト ±2°
  • 分解能 X、Y 0.0025mm Z 0.01mm
  • 測定端子 48pin 電流端子 プローブ保持・移動機構
  • 移動量 X、Y ±12.5mm Z 25mm
  • 分解能 X、Y 0.0025mm Z 0.025mm
  • プローブ 印加電圧 Max 10KV(SHV端子)



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