株式会社アールデック

EB装置
698MNK



5ポケット / 10kW電子銃を2基搭載することにより、一度に最大10種類の材料を充填することが可能です。
サンプルパーキングや分析室などの拡張も行えます。



  成膜室
チェンバー φ650×800 水冷パイプ巻き / シースヒータ付
蒸発源 15cc 5連 / 10kW 電子銃 2基
電子銃電源 15kW
試料マニピュレー 3軸マニピュレーター (X, Y, Z)
基板加熱 ランプ加熱機構 400℃
排気系 TMP 3300l/sec・RP 2000l/min

  ロードロック室
搬送機構 マグネットフィードスルー / Oリング窓付ハッチ
排気系 TMP 200l/sec・SP




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